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用阴极溅射制作方向层的方法及其实施装置.pdf

摘要
申请专利号:

CN201210088822.0

申请日:

2007.12.24

公开号:

CN102747330B

公开日:

2015.01.28

当前法律状态:

授权

有效性:

有权

法律详情: 授权|||专利申请权的转移IPC(主分类):C23C 14/34变更事项:申请人变更前权利人:OC欧瑞康巴尔斯公司变更后权利人:欧瑞康先进科技股份公司变更事项:地址变更前权利人:列支敦士登巴尔策斯变更后权利人:列支敦士登巴尔策斯登记生效日:20140731|||实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20071224|||公开
IPC分类号: C23C14/34; H01J37/34; G11B5/851 主分类号: C23C14/34
申请人: 欧瑞康先进科技股份公司
发明人: H·罗尔曼; H·弗里德利; J·韦查特; S·卡德莱克; M·杜布斯
地址: 列支敦士登巴尔策斯
优先权: 2007.01.02 US 60/883086
专利代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 薛峰;杨国治
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法律状态
申请(专利)号:

太阳城集团CN201210088822.0

授权太阳城集团号:

102747330B|||||||||

法律状态太阳城集团日:

2015.01.28|||2014.08.20|||2012.12.19|||2012.10.24

法律状态类型:

授权|||专利申请权、专利权的转移|||实质审查的生效|||公开

摘要

本发明涉及用阴极溅射制作方向层的方法及其实施装置。具体地,提供了一种用阴极溅射在衬底的平面衬底表面上制作带有恒定法向方向性的方向层的装置,所述装置具有真空腔,所述真空腔中放置有至少一个靶,而且所述真空腔包含有至少一个适于以如下方式来连接衬底的支架,即使得衬底表面面向所述至少一个靶的靶表面,而且在所述靶表面和所述支架之间设置至少一个准直仪,所述准直仪带有基本平坦的板,这些基本平坦的板彼此平行并被对齐在与所述衬底表面正交的方向中,而且所述板的平均长度从所述准直仪的中心向外端减小。此外,本发明还提供了一种在平面衬底表面上涂覆磁性层的方法。

权利要求书

1.一种用阴极溅射在衬底的平面衬底表面上制作带有恒定法向
方向性的方向层的装置,所述装置具有真空腔,所述真空腔中放置有至
少一个靶,而且所述真空腔包含有至少一个适于以如下方式来连接衬底
的支架,即使得衬底表面面向所述至少一个靶的靶表面,而且在所述靶
表面和所述支架之间设置至少一个准直仪,所述准直仪带有基本平坦
的板,这些基本平坦的板彼此平行并被对齐在与所述衬底表面正交的
方向中,而且所述板的平均长度从所述准直仪的中心向外端减小。
2.如权利要求1所述的装置,其中,所述板至少一部分的厚度平
行于所述衬底表面变化。
3.如权利要求2所述的装置,其中,所述厚度在每种情况下都从
所述板的中心点向外边缘减小。
4.如权利要求1所述的装置,其中,所述准直仪相对于所述支架
的位置能够以如下方式在两个位置之间切换,即使得在一个位置时,
每个板占据一个在其处于各自另一位置时空闲的点。
5.如权利要求4所述的装置,其中,在所述准直仪的一个位置处,
每个板占据一个大致在两点之间中间的点,该中间的点在该板处于各
自另一位置时由其它板占据,但是端板可能例外。
6.如权利要求4所述的装置,其中,通过相对于所述衬底表面绕
着向该衬底表面取向的轴线转半圈,所述准直仪能被移动至各自的另
一位置。
7.如权利要求1所述的装置,其中,所述板的平均厚度从所述准
直仪的中心向外端减小。
8.如权利要求1所述的装置,其中,所述支架能够相对于靶表面
沿平行于所述板的方向移动。
9.一种在平面衬底表面上涂覆磁性层的方法,所述磁性层带有在
所述衬底表面中恒定的优选磁性方向,所述方法通过使用带有真空腔
的装置来利用阴极溅射制作带有恒定法向方向性的衬底方向层来实
现,所述真空腔中放置有至少一个靶,并且所述真空腔包含有至少一个
适于以如下方式来连接衬底的支架,即使得衬底表面面向所述至少一个
靶的靶表面,而且在所述靶表面和所述支架之间提供设置至少一个准
直仪,所述准直仪带有基本平坦的板,这些基本平坦的板彼此平行并
被对齐在与所述衬底表面正交的方向中,而且所述板的平均长度从所
述准直仪的中心向外端减小。
10.如权利要求9所述的方法,其中,所述方向层即为所述磁性
层,其优选磁性方向对应于所述法向方向。
11.如权利要求9所述的方法,其中,所述方向层是一个支承层,
其上接着涂覆有磁性层,在每一情形下,所述磁性层的优选磁性方向
由所述支承层的标称方向确定。

关 键 词:
阴极 溅射 制作 方向 方法 及其 实施 装置
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